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真空腔體氦質譜檢漏

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真空腔體存在很多的焊接麵和法蘭麵，如果焊接不良或者法蘭麵夾雜異物等原因，就會造成真空腔體的泄漏。

為了查明泄漏點和具體漏率，將91香蕉国产在线观看软件科技香蕉视频黄下载（下稱檢漏儀）通過波紋管連接在真空腔體上。對腔體進行抽空檢漏（注：若腔體體積較大，可能需要添加輔抽泵對腔體抽空，提高工作效率），在真空腔體表麵從上到下噴氦，氦氣會通過漏孔進入到腔體內部，最終被檢漏儀檢測到。因為腔體內部是真空狀態，不受空氣中氦氣本底的影響，所以檢測精度最高可以達到10-13 Pa·m3·s-1，完全可以滿足客戶生產需求。



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